特点
v 测量设置简单易学；
v 高速数据采集能力；
v 强大的数据分析能力以及0.1纳米量级的测试重复精度；
v 尺寸较小配置灵活；
功能
v 系统包含了完整版的vision分析软件，该软件是行业内功能全的分析软件，可实现二维和三维的数据分析及可视化功能；
v 提供了200余种分析工具，包括自动测序功能、数据记录和实时反馈及统计控制过程的合格/不合格标准；
v 可选的matlab软件包可以定制专门的数据分析用户界面。
应用
v 金属表面测量
v 太阳能电池
v 生命科学研究
v mems器件表征
v mems器件表征
v 光学器件研究/制造
v 材料科学